埃瑞微半导体

无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司是一家专注于集成电路前道工艺量检测设备研发及制造的科技创新型企业，聚焦于前道Overlay套刻装备。致力于为光刻工艺的大批量生产提供以套刻误差为代表的量测设备及其他缺陷检测设备，拥有国内顶尖的技术开发能力和坚实的设备量产经验。

卓源亚洲成立于2016年6月15日，起源于清华大学FIT楼4-204实验室。由清华大学校友共同创办。卓源亚洲致力于打造中国最领先的人工智能及集成电路投资机构，创始团队累计管理与投资规模超过30亿人民币。卓源亚洲的使命是在源头投资具备世界级影响力的伟大人工智能企业。

卓源亚洲是一家清华系聚焦于集成电路及人工智能领域的投资机构，卓源亚洲及其创始团队先后投资了百川智能、中科时代、小马智行、江行智能、第四范式、九章云极、基流科技、实在智能、生数科技、瑞莱智慧、庭宇科技、睿魔智能、灵汐科技、焱融科技、思谋科技、越疆科技、博瀚智能、拓元智慧、弋途科技、昂视智能、畅行智能、可之AI、瑛菲网络、全时云、赋乐科技、星汉数智、云丹云码等AI企业。

卓源亚洲先后投资了清微智能、辉羲智能、昂纳科技、中茵微电子、篆芯半导体、埃瑞微半导体、沐曦集成电路、共绩算力、芯德半导体、斑岩光子、芯睿科技、芯承半导体、盖泽半导体、首芯半导体、迈睿捷半导体、美浦森半导体、必博半导体、齐芯半导体、艾斯谱光电、芯得铭半导体、芯运智能、华美兴泰、灵动微电子、瑞迪微电子、清醒异构、深流微半导体、衍梓装备、艾博特机器人、磅旗精工、智毅聚芯、睿魔智能、深蓝航天、灵汐科技、一径科技、永泰数能、智佳能自动化、中兴新材等集成电路企业。